氮化铝陶瓷薄膜热导率的分子动力学模拟

摘要

采用平衡分子动力学方法（EMD）研究了平衡温度为300K的氮化铝薄膜的法向热导率．利用stillinger-Weber势函数以及Green—Kubo线性响应理论计算热导率．计算结果表明，氮化铝薄膜的热导率值显著小于对应大体积材料的实验值，具有明显的尺寸效应,在氮化铝薄膜为1．47～5．39nm的范围内，氮化铝薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而近似的线性增加．