溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜

摘要

首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜，分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点，系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点，并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响．针对整个工艺过程进行了优化，最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜．