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微小差分电容检测电路设计

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摘要

针对电容式MEMS器件,设计了一种用来检测微小差分电容的电路,该电路主要有方波信号发生器、相敏解调和低通滤波电路等组成.具有抗干扰性能好、电路简单、易于集成的特点.通过主要器件--运放的合理选择,调试出较理想的结果.经实验验证,其分辨率可达10-16F.

著录项

来源
《传感技术学报》 |2006年第6期|2529-2531|共3页
作者
王玲; 刘俊; 石云波;
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作者单位

中北大学,电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051;

中北大学,电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051;

中北大学,电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
差分电容; 充放电; 相敏解调;

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