科研证明
文献服务
退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
潘昕; 汪承灏; 徐联; 魏建辉;
中国科学院声学研究所,北京,100080;
微机电系统; 硅微电容传声器; 防粘连; 微突出;
机译:单深波纹膜片技术的硅电容传声器设计与制造
机译:波纹膜片单芯片微型硅电容传声器的理论和实验研究
机译:波纹膜片技术设计和制造硅电容传声器
机译:使用解析模型模拟低频电容式微加工超声换能器(cMUT)和硅电容传声器
机译:硅电容微传感器和静电微致动器的研究:朝着微机电系统(MEMS)迈进
机译:用于非织造织物的黑磷杂化微纤维的微流纺结构朝向高能量密度的柔性超级电容器
机译:多孔板的力学性能及其在硅电容传声器中的应用
机译:硅单块微可控硅的可靠性手册1 - 整体微观结构的应用
机译:在单个基板上集成有集成电路的芯片和微硅电容传声器及其制造方法
机译:制造MEMS电容器传声器的方法,例如MEMS电容器传声器,包括该MEMS电容器传声器的箔的叠层,包括该MEMS电容器传声器的电子设备以及该电子设备的用途
机译:微型硅电容传声器及其制造方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。