MEMS周期运动测试中频闪成像与运动激励的同步控制

摘要

微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分.由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用.本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了一种基于FPGA的频闪成像和运动激励同步控制系统,用于MEMS器件的周期运动激励和微结构高速周期运动过程中清晰图像的获取.实验表明,频闪照明的最小脉冲宽度为10 ns,运动相位的调整间隔小于3.75°,能够满足周期运动频率为1 MHz微结构运动测试的要求.