刮板式微致动器性能研究

摘要

刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器.结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比.结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性.