基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计

摘要

介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺,并对陀螺进行了结构设计.该结构采用电磁驱动方式,实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求;采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式,本质上提高了陀螺的灵敏度.用ANSYS软件对结构进行了模态分析和路径分析,确定了结构的固有频率和RTD放置位置.结合目前工艺要求,对该陀螺进行了工艺设计并实现了结构加工.