金属有机物PCVD法沉积Ti（CN）涂层

摘要

应用PCVD技术，以金属有机物TPT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层，研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响，并对涂层的抗氧化性进行了实验。结果表明，采用适当的沉积温度、压力及氮气流量，可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层．在沉积温度500℃时达到最高硬度HV1760，涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性。