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大尺寸单晶金刚石同质连接技术

         

摘要

介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径.通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景.

著录项

  • 来源
    《自然杂志》 |2019年第2期|100-110|共11页
  • 作者单位

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    俄罗斯科学院普通物理研究所,俄罗斯莫斯科119991;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    俄罗斯科学院普通物理研究所,俄罗斯莫斯科119991;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    俄罗斯科学院普通物理研究所,俄罗斯莫斯科119991;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

    哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨150001;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

    人造金刚石; 单晶; 微波等离子体化学气相沉积; 同质连接;

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