利用正交实验制备金刚石薄膜及其场发射的研究

摘要

场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜的过程.并对薄膜进行扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了其形貌与结构;用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能,简单分析了金刚石薄膜的成因和场发射性能.