用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置

摘要

利用原有的单面光刻设备，附加简单的真空吸会光刻附件，可以对图形尺寸较大的硅杯式力敏传感器进行双面光刻，实验表明利用这一装置研制的4×4触觉传感阵列，光刻精度满足要求。