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茅盘松; 王修伦;
不详;
微机械结构; 微静电; 驱动; 硅;
机译:具有静电驱动的微谐振器的大小依赖微谐振器的非线性振动
机译:静电驱动合成微射流阵列作为微飞行的推进方法-第二部分:微加工和初始表征
机译:差分变换法的静电驱动微沟非线性振动分析
机译:具有电容式位置/力传感器的整体双轴静电驱动MEMS微臂微臂设计
机译:带有静电驱动的MEMS微束动态分析。
机译:静电驱动双稳态微束的实验动态陷获
机译:悬浮微通道谐振腔传感器在静电驱动下的拉入效应
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。
机译:静电驱动模具微镜装置无效的微镜
机译:静电驱动微镜及使用该微镜的同一光开关的制造方法
机译:-静电驱动微镜装置以及使用该微镜装置的光学拾取系统
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