谐振法确定热激励微梁谐振器厚度及残余应变

摘要

精确测量热激励微梁(悬臂梁和桥)谐振器的厚度和残余应变对研究其谐振特性具有重要意义.由于组成谐振器的薄膜厚度远小于占优层厚度,本文首先利用单层梁谐振频率推算得梁的厚度的近似值,从而得到热激励梁的等效杨氏模量和等效密度.在此基础上利用双层梁谐振频率精确推算梁的厚度和残余应变,结果与测量值符合较好.该方法具有非破坏性的优点.