谐振器

摘要： 谐振式MEMS传感器的输出信号为频率信号,具有高精度和强抗干扰能力等优点,是微传感器的重要发展方向之一.但是这类传感器振动具有的非线性会导致振动幅度噪声耦合到频率输出进而对器件的噪声性能产生不利影响,所以对谐振器非线性振动的特性进行分析显得十分重要.以梳齿结构与振动梁复合的谐振器为研究对象,推导出谐振梁的力-位移方程、振动微分方程,并与实验结果比对,曲线具有很好的吻合度,证明了理论的正确性.同时表明结构机械非线性主要受谐振梁厚度影响;非线性失稳的临界状态会使结构发生频率跳跃,增加结构阻尼能有效增大系统稳定响应的位移和输出电压信号,同时利用结构非线性失稳后的上跃频率设计器件具有良好的稳定性.

摘要： 该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软件进行精确的声学验证,最后通过实验验证了仿真结果的有效性。

摘要： 利用离子注入剥离法(CIS)制备的铌酸锂(LN)压电薄膜可用于制备体声波(BAW)器件,近年来备受关注。滤波器的指标与谐振器的性能密切相关,但基于LN单晶薄膜的BAW谐振器,对其结构的仿真优化还未有较深入的报道。该文以LN单晶薄膜为核心压电层材料,构建了固态反射型(SMR)单晶薄膜谐振器有限元仿真模型,对其压电层厚度和布喇格反射层厚度进行了设计,并重点针对谐振器上电极的台阶结构进行了二维模型仿真,为高频LN BAW滤波器的制备提供了理论依据。

摘要： 李玉金、元秀华、赵茗、王运河发表在《物理学报》的文章:“环形ZnO薄膜谐振器的横模抑制与测试分析"”(《物理学报》2015,64(22):224601,DOI:10.7498/aps.64.224601),由于当时未能详察,文中图2(a)与山东科技大学韩程章硕士位论文(2012年6月)的图3.12类似,被质疑涉嫌篡改.为避免学术不端,通信作者提出撤稿,特此声明.

摘要： 采用有限元法建立了ZnO/SiC,ZnO/SiO_(2)/SiC和SiO_(2)/ZnO/SiC这3种不同复合结构模型,仿真分析了ZnO薄膜厚度一定的情况下,不同厚度SiO_(2)薄膜对谐振器瑞利波相速度、机电耦合系数的影响,并根据分析结果设计出了基于SiO_(2)/ZnO/SiO_(2)/SiC复合结构瑞利波谐振器的具体尺寸。结果表明:设计的谐振器激发出的瑞利波相速度为7268.1 m/s,且器件具有3.52%的高机电耦合系数。

摘要： 文中基于正交试验法进行贡献率分析并设计蒙特卡罗分析流程,制定最佳容差设计方案。首先,分析磁耦合无线电能传输系统特性,建立系统无权网络模型并确定其类型,得到各节点重要度相似的结论;然后,针对谐振器中元器件参数的分散性问题,研究谐振器容差分析方法,通过正交试验法分析贡献率来确定参数对传输特性的影响程度,从而制订容差分配方案;最后,对11种容差方案下的系统传输特性进行实验研究,设计蒙特卡罗分析流程,分析不同方案下传输功率、效率的分散性及满足传输功率波动不超过±20%、传输效率大于85%要求的概率,验证最佳容差分配方案的合理性。结果表明,发射侧电感、发射侧电容及接收侧电感的容差选取1%,接收侧电容的容差选取10%,可使满足传输要求的概率由最差的46%提升到96.5%。

摘要： 阐述一种发夹型谐振器结构的滤波器设计,通过对传统发夹滤波器谐振结构的改进优化,产生多个带外零点,探讨全波仿真优化,实现了一款中心频率为26GHz的陶瓷带通滤波器。结果显示,该滤波器具有结构紧凑、传输性能稳定,带外抑制度高等特点。滤波器尺寸为5.5mm×2.8mm×0.254mm。

摘要： 该文分别开发了两种基于AlN压电材料和原子数分数为10%的Sc掺杂AlN压电材料的薄膜叠层异质谐振器。通过有限元仿真和实验对比分析了器件的频率温度性能和Sc掺杂对谐振器声激励的影响。结果表明,Sc掺杂可能会影响压电薄膜叠层谐振器所激励声波的谐振频率、机电耦合系数和对应的频率温度系数(TCF),且对所激励声波的正反谐振点的TCF影响不同。此研究在传感及滤波器件领域极具应用潜力。

摘要： 使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入损耗为-1.2 dB,1 dB带宽为74 MHz,相对带宽达到5.4%,阻带抑制大于40 dB,且温度系数在-55~+85°C时优于-9×10^(-6)/°C。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点,其性能指标优异,具有很好的实用性。

摘要： 超级高性能(I.H.P.)SAW器件因具有优异的品质因数(Q)值及温度稳定性而备受关注。为用于宽带滤波器的研发,对双层结构(Cu电极/Y旋转5°切LiNbO_(3)压电层/SiO_(2)功能层/Si衬底)的I.H.P.SAW基底结构设计进行了研究。考虑质量加载效应,结合电极与压电层界面上的应力与自由电荷分布特点,采用精确的有限元/边界元法(FEM/BEM)理论进行研究。利用多层结构的连续性边界条件,计算多层复合格林函数以及谐振器导纳值,寻求谐振点与反谐振点之间最大频率差以优化基底结构尺寸。计算结果表明,对金属化比为0.5,结构周期(λ/2)为2μm的器件,当功能层、压电层、电极层厚分别为0.15λ、0.2λ、0.0375λ时,谐振频率点为880 MHz,反谐振点为1018 MHz,由此可获得138 MHz的最大频率差。此结论为应用于宽带滤波器的I.H.P.SAW器件的设计提供了指导。

摘要： 随着5G时代的到来以及物联网技术的迅猛发展,作为无线通讯重要基石的射频谐振器及其滤波器芯片系统已经广泛应用于现代通讯网络中.压电氮化铝(AIN)薄膜,作为一种新型MEMS材料,具有优良的压电性能以及完美的半导体工艺兼容特性,是目前制备各种传感器、驱动器、谐振器以及滤波器等的最佳原材料.AIN材料的介电常数比传统的压电材料PZT小两个数量级,且机械品质因数显著高于PZT,这意味它在某些应用中能发挥更加优越的性能,如射频谐振器以及滤波器等.同时,Sc掺杂AIN材料(ScAIN),可以改善机械性能或增加压电系数,但却不会显著改变其它属性,这无疑将进一步提升MEMS器件的性能.报告将围绕氮化铝薄膜的制备为基础,重点讨论氮化铝薄膜材料在射频谐振器(Lamb波谐振器、FBAR)、滤波器等方面的研究,包括MEMS器件的设计、制程以及性能表征等.

摘要： 本文介绍了一种均匀加热的微型恒温控制振荡器,伸张模态的谐振器工作于N++[100]晶向的温漂转折点.该谐振器通过在谐振结构锚点的上的多晶硅加热电阻进行加热并将其温度稳定到频率转折点附近,谐振器在该转折点时工作时温度系数接近于零.基于微型恒温结构相邻的测温电阻与开环控制的多项式拟合算法能初步实现25°C到65°C区间谐振器的谐振频率稳定在±0.8ppm以内.

摘要： 针对磁耦合谐振式无线电能传输系统各参数相互影响、相互制约的关系,基于实值遗传算法提出一种谐振器优化设计方法.本文以传输效率为优化目标,首先根据毕奥-萨伐尔定理,推导得出适用于计算机编程的互感代数表达式.然后基于该互感代数表达式,编写实值遗传优化算法,获取一定约束条件下的最优谐振器参数.最后搭建了实物平台,实验结果与优化结果具有较好的一致性,验证了该优化设计方法是合理有效的.

摘要： 本文提出了一种适用于VHF/UHF频段的螺旋SIR结构，采用非均匀螺距螺旋线实现双谐振频率可控。利用这种谐振器，设计了一款二阶双频段螺旋带通滤波器，仿真结果显示了良好的通带和带外特性。

摘要： 本文采用时域不连续伽略金方法来求解三维电磁问题.由于在空间离散和时域积分都存在多种灵活的选择,该方法模拟波的传播更准确可靠.和其他时域方法不同,时域不连续伽略金方法借助于数值流来近似求解相邻网格之间的交界面上的积分.同时,该方法在模拟非规则目标时兼具效率和精度,因此非常适合处理复杂目标的多尺度和宽带问题.最后,本文应用时域不连续伽略金方法成功求解了三维谐振器问题.

摘要： 本文通过在六边形环形谐振器的内部加载Y型中心枝节,设计了一个新型双通带微带滤波器.通过加载Y型枝节,引入了一个介于六边形谐振器的一阶模和二阶模之间的新的工作模式.在设计过程中,通过简单改变Y型枝节的特征阻抗,可以将所引入的模式移动到靠近二阶模,并实现二阶简并模的分裂,从而设计出三模通带的滤波器.该滤波器可同时工作于PCS和WiMAX频段,其测试结果与仿真结果吻合良好.

摘要： 本文简述了在碳纳米无源元件和天线方面的一些研究,主要集中在高频率特别是太赫兹频段的应用.首先简要介绍了关于碳纳米管集束天线的工作,然后提出了一种可切换石墨烯高阻表面,及其在太赫兹天线中的应用,最后提出了几种基于碳纳米管的高性能谐振器.对碳纳米材料在这几种应用中的优势与劣势做出了评估,可为碳纳米材料在未来太赫兹频段中的应用提供一些参考.

摘要： 本文提出一种内嵌式SIR结构的双频带滤波器:首先,使用两对不同大小的SIR谐振器分别控制并形成两个不同中心频率(2.4G/5.1GHz)的滤波器;其次,把控制高频率的较小的SIR谐振器对内嵌到控制低频率的较大的SIR谐振器对中;最终实现了双通带滤波器,此种设计方法不需要考虑两个通带的耦合系数,因此设计方便、简单.并且由于使用到内嵌式的结构,所设计出的双通带滤波器具有较小的面积,实现了双频滤波器的小型化.

摘要： 这篇文章中提出了采用短路支节的多模超宽带带通滤波器,短路支节之间采用1/2波长谐振器,实现多模,从而增加带宽.由于引入了源负载耦合,在通带截止频率附近产生传输零点,改善矩形度,提高滤波器的频率选择性.该超宽带带通滤波器在通带内的回波损耗均低于-10dB,相对带宽约为110％,并且在下阻带实现传输零点.

摘要： 本文在传统的宽带天线基础上有效加载短路枝节结构,利用了双频通带滤波的思想,设计了一种新型双频可调滤波天线.本设计通过调整谐振滤波器的电长度,可以很容易的实现一个能够独立调节各中心频率的双频带滤波天线.仿真结果表明:该滤波天线可工作在2.44GHz和3.20GHz这两个频段.通过主要物理参数的调节,实现了每个工作频带单独可控的功能.该天线设计为多频工作天线提供一个新的解决方案.

摘要： 本发明涉及具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：具有表面(12)的衬底(2)和谐振器结构(1)，其中，谐振器结构(1)为衬底(2)的一部分，其特征在于谐振器结构(1)由第一闭合沟槽(3)和第二闭合沟槽(3)限定，第一沟槽(3)位于第二沟槽(3)内，以便在衬底(2)内形成管状结构(1)，并且仅沿与表面(12)平行的方向从衬底(2)释放谐振器结构(1)。本发明还涉及制造这种MEMS谐振器的方法。

摘要： 一种谐振器，包括其中具有孔的空心介质元件，包括形成在所述孔中的多个螺旋状线的螺旋状线单元，和形成在介质元件的外部表面上的接地电极。还揭示了一种谐振器元件，包含：圆柱形基底，包含介质元件和磁性元件中的一个；和螺旋状线单元，包括形成在所述圆柱形基底的侧面上的多个螺旋状线，并揭示了包括上述谐振器或谐振器元件的谐振器装置、滤波器、双工器和通信装置。

摘要： 本发明的谐振器是包括由高温超导基片上的超导薄膜形成的微带电路图案的高温超导谐振器，微带电路图案由矩形微带主线以及从矩形微带主线四顶角向外延伸的四条矩形微带支线组成，矩形微带支线宽度窄于矩形微带主线。上述谐振器可用于组成单通带滤波器或三通带滤波器。改变四条微带支线中任意两条支线的长度可以改变谐振器通带频点的距离。有益效果在于电路Q值较高，通过调节四条微带支线的宽度改变三个通带频点之间的距离，当频点之间的距离较窄时用于制作单通带滤波器可大大减少谐振器使用数量；当频点距离较大时用于制作三通带滤波器，相对于采用三路滤波器搭建的多通带滤波器而言电路结构大大简化。

摘要： 本发明涉及一种体声波谐振器结构、薄膜体声波谐振器结构以及固体装配型谐振器结构。一种体声波BAW谐振器结构包含安置在衬底上方的第一电极、安置在所述第一电极上方的压电层以及安置在所述第一压电层上方的第二电极。所述压电层由掺杂多种稀土元素的压电材料组成，用以改进所述压电层的压电特性。

摘要： 一种谐振器,包括其中具有孔的空心介质元件,包括形成在所述孔中的多个螺旋状线的螺旋状线单元,和形成在介质元件的外部表面上的接地电极。

摘要： 本发明涉及一种用于安装在固定式燃气轮机设备(1)的燃烧器装置中的具有多个穿孔(13)的环形的谐振器(8)，其特征在于，谐振器(8)由耐火陶瓷制成。本发明还涉及一种用于制造这种谐振器(8)的方法以及一种用于燃气轮机设备(1)的燃烧器装置，所述燃烧器装置具有：燃烧器单元(2)，所述燃烧器单元具有燃烧器(6)；过渡管路(9)，所述过渡管路设置在燃烧器单元(2)的下游并且设计用于将通过燃烧器(6)产生的热气引导至涡轮；以及至少一个根据本发明的谐振器(8)。

摘要： 本发明的谐振器是包括由高温超导基片上的超导薄膜形成的微带电路图案的高温超导谐振器，微带电路图案由矩形微带主线以及从矩形微带主线四顶角向外延伸的四条矩形微带支线组成，矩形微带支线宽度窄于矩形微带主线。上述谐振器可用于组成单通带滤波器或三通带滤波器。改变四条微带支线中任意两条支线的长度可以改变谐振器通带频点的距离。有益效果在于电路Q值较高，通过调节四条微带支线的宽度改变三个通带频点之间的距离，当频点之间的距离较窄时用于制作单通带滤波器可大大减少谐振器使用数量；当频点距离较大时用于制作三通带滤波器，相对于采用三路滤波器搭建的多通带滤波器而言电路结构大大简化。

摘要： 本发明提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，包括由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。本发明通过整合工艺，直接在同一压电层上形成体声波谐振器的顶电极和表面声波谐振器的叉指电极，缩减了工艺流程，避免原工艺中出现的压电基板破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。

摘要： 本发明涉及一种体声波谐振器结构、薄膜体声波谐振器结构以及固体装配型谐振器结构。一种体声波BAW谐振器结构包含安置在衬底上方的第一电极、安置在所述第一电极上方的压电层以及安置在所述第一压电层上方的第二电极。所述压电层由掺杂多种稀土元素的压电材料组成，用以改进所述压电层的压电特性。

摘要： 本实用新型提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，包括由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。本实用新型通过整合工艺，直接在同一压电层上形成体声波谐振器的顶电极和表面声波谐振器的叉指电极，缩减了工艺流程，避免原工艺中出现的压电基板破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。