吸附效应对硅纳米梁谐振频率的影响研究

摘要

理论分析了吸附效应对双端固支纳米谐振梁特性的影响.吸附效应主要考虑质量变化带来的影响.推导了吸附效应影响下的频率偏移,并与空气阻尼对谐振频率的影响进行了比较.结果显示吸附效应引起的频率偏移在1‰左右.与空气阻尼效应相比,吸附效应对频率的影响更大.文章还分析了频率偏移与压强,温度和梁尺寸的关系.