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工程通用技术

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防爆工程项目质量现状与对策措施,沉积角度对MgO介质保护膜性能的影响，射频等离子体中绝缘基片上自偏压的研究，掺氮二氧化钛薄膜的常压化学气相沉积及其结构性能研究.

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来源
《中国学术期刊文摘》 |2006年第22期|42-45|共4页
作者

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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TQ324.21;
关键词
工程项目; 常压化学气相沉积; 技术; 通用; 射频等离子体; 二氧化钛薄膜; 质量现状; 结构性能;

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