六甲基二硅氧烷的等离子体聚合物的结构与性能

摘要

在外部电容耦合的辉光放电中进行了六甲基二硅氧烷的聚合。考察了压力、功率以及等离子气体对聚合速率、产物结构和性能的影响。应用IR、XPS、PGC/MS和元素分析等对聚合物的结构进行表征,用TR、热失重、接触角和密度等方法,分别测定了聚合物的热稳定性、疏水性和比重。