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徐星; 苏峰华; 李助军;
华南理工大学机械与汽车工程学院;
广州510641;
广州铁路职业技术学院机械与电子学院;
广州510430;
脉冲偏压; 直流磁控溅射; MoN薄膜; 摩擦学性能;
机译:衬底偏压对脉冲直流磁控溅射沉积TiAlSiN薄膜微结构演变和力学性能的影响
机译:退火温度对脉冲直流磁控溅射沉积ZrB 2薄膜结构性能的影响
机译:在线脉冲直流磁控溅射沉积过程中的移动速度对掺Al ZnO薄膜的结构和光学性能的影响
机译:脉冲频率和基体偏压对脉冲直流磁控溅射沉积CrN涂层力学性能的影响
机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:直流偏压对活性射频磁控溅射TiVCrZrTaN薄膜微结构,残余应力和硬度性能的影响
机译:电场和磁场及其他物理参数对气相沉积金属薄膜的核化,结构和残余性能的影响
机译:大功率脉冲磁控溅射物理气相沉积电介质薄膜的脉冲直流源及其应用方法
机译:大功率脉冲磁控溅射物理气相沉积介电薄膜的脉冲直流源及其应用方法
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