首页> 中文期刊>中国科技信息 >纳秒脉冲激光辐照非晶硅薄膜的研究

纳秒脉冲激光辐照非晶硅薄膜的研究

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用Nd:YAG纳秒脉冲激光.在不同能量下对沉积在石英衬底上的非晶硅薄膜进行辐照.光学显微镜,透射电镜、微区喇曼光谱分析表明,在能量50-60mJ/cm2辐照下,可制备出具有周期性排列的条纹结构,能量过大会使薄膜受损,激光辐照后薄膜组织的有序度提高.

著录项

来源
《中国科技信息》|2008年第20期|28-29|共2页
作者
袁珂; 郝会颖; 郑志远; 黄强; 张鸿儒;
展开▼
作者单位

中国地质大学材料科学与工程学院,北京,100083;

中国地质大学材料科学与工程学院,北京,100083;

中国地质大学材料科学与工程学院,北京,100083;

中国地质大学信息工程学院,北京,100083;

中国地质大学材料科学与工程学院,北京,100083;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学;
关键词
纳秒激光; 硅薄膜; 喇曼光谱;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 1064nm纳秒脉冲激光辐照水下锗材料光谱研究 [J] . 王朔 ,张鹏波 ,蔡宏吉 . 科技创新与应用 . 2019,第007期
2. 非晶硅/非晶硅锗双结薄膜太阳能电池的模拟研究 [J] . 李娟 ,冯国林 . 宁夏师范学院学报 . 2018,第010期
3. 非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶 [J] . 王光伟 ,张建民 ,倪晓昌 . 液晶与显示 . 2009,第003期
4. 非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱 [J] . 马希文 ,杨玉庆 ,张坤 . 实验室研究与探索 . 2016,第008期
5. ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用 [J] . 黄建华 ,刘怀周 . 人工晶体学报 . 2016,第2期
6. 纳秒脉冲激光辐照InSb探测器的热弹效应研究 [C] . 李莉 ,郭少锋 ,陆启生 . 第十届全国光电技术与系统学术会议 . 2003
7. P型非晶硅薄膜及非晶硅薄膜电池产业化研究 [A] . 张原斌 . 2013

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号