氦质谱检漏设备故障排除与维护保养

摘要

氦质谱检漏设备是运用高真空与电子学原理的精密设备,以氦气作为探测气体对部件的漏点及漏率进行检测,由于设备组成复杂,对其故障排除及维护保养难度大,本文主要对设备经常发生的故障进行总结,提出排除故障的常用方法,梳理设备维护保养的关键内容,为从事相关专业的人员提供参考.