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石英器件加工工艺及最新进展

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介绍国内外石英器件加工工艺发展,以石英摆片为例,介绍石英器件常用的加工工艺以及石英器件加工工艺的最新工艺进展.

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来源
《中国机械工程》 |2000年第6期|668-671|共4页
作者
周岩; 刘晓胜; 杨乐民; 郑胜军; 张广玉;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

东南大学;

哈尔滨工业大学机电学院;

哈尔滨工业大学实验技术学院;

哈尔滨工业大学机电学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类润滑;
关键词
石英器件; 磨料喷射; 超声落料; 化学蚀刻; 激光加工;

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