退火气氛对AZO薄膜电学性能的影响

摘要

本文简述了运用磁控溅射的方法制备Al掺杂的ZnO薄膜，并运用退火工艺对薄膜进行处理，研究不同退火气氛对薄膜电学性能的影响，结合相关的文献以及相关机理对所得结果进行分析和研究。