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中微在专利侵权案中胜诉

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中国中微半导体设备公司曰前宣布，对于美国泛林科技针对其台湾分公司及其关系企业的专利侵权诉讼，中微已经获得胜诉。在日前的判决中，台湾智能财产法院驳回了泛林的诉讼，并认定泛林声称遭到侵害的专利无效。2009年1月，泛林表示，中微型号为Primo D-RIE的电浆蚀刻机，侵害了其电浆反应器中的多孔电浆密封环，

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来源
《中国发明与专利》|2009年第10期|3-3|共1页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;化学电源、电池、燃料电池;
关键词
专利侵权案; 侵权诉讼; 半导体设备; 蚀刻机; 电浆; 密封环; 反应器; 台湾;
入库时间 2023-07-25 12:43:08

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