一种600V VDMOS终端保护环结构的设计

摘要

本文详细讨论了VDMOS终端保护环结构各部分,即保护环、保护环间隙和场板的作用及设计方法。结合600V VDMOS的外延电阻率和厚度,一种600V VDMOS终端保护环结构被成功设计出来。