白光扫描干涉测量算法

摘要

白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法.在干涉仪的结构中,光源的光谱宽度及扫描步长一定时,选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度.对重心法、移相法、包络曲线拟合法、空间频域算法分别加以介绍和比较,为白光干涉信号的算法提供详尽的参考.