甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用

摘要

采用热阴极DC-PCVD方法制备了金刚石膜, 研究了甲醇对放电状态和金刚石膜生长特性的影响. 结果表明, 通入适量的甲醇有利于稳定辉光放电状态, 保持阴极清洁, 提高膜的生长质量. 用扫描电镜和拉曼光谱等测试手段对金刚石膜的生长特性进行了分析.