不同在线色谱仪在多晶硅生产中的应用分析

摘要

多晶硅在工艺生产中比较复杂,在工艺条件的上要求非常严格,在产品品质上极高的质量要求.在单质硅中多晶硅是其中的一种形态,多晶硅是取向这些成晶面不同的晶粒,以金刚石的形态利用物理化学等手段方法将其排列成许多的晶核.西门子、ABB、SRA、为目前国内多晶硅厂家使用的在线色谱仪的主要厂家,描述了三大厂家在多晶硅在生产中的使用情况,介绍了三类在线色谱仪的特点.