过程色谱仪在多晶硅工业上的应用

摘要

多晶硅复杂的生产工艺，难以控制的介质条件，极高的产品质量要求，都需要更为先进的分析技术。西门子过程色谱仪以专门设计的样品处理系统，并行分析，防腐蚀样品阀，高精度脉冲氦离子化检测器等先进的技术，实现精馏、还原、氢化、尾气回收等各个工段的实时监测，有效的提高多晶硅的生产效率和产品质量。