铜及铜合金的化学抛光工艺改进

摘要

本文介绍了改进的铜及铜合金化学抛光工艺，简介了该工艺的流程，化学抛光液和脱膜液的配方及工艺条件，还分析了硝酸及过氧化氢浓度，乙醇及ＬＣ添加剂、抛光时间及搅拌速度等对该工艺的影响。