热处理对A1N陶瓷晶界相的影响

摘要

以Y_2O_3为烧结助剂的无压烧结AlN陶瓷,在碳还原气氛下热处理能有效地排除AlN陶瓷中的晶界相,改变晶界第二相的组成与分布,从而提高AlN陶瓷的热导率,但热处理后致密度的降低限制了热处理对热导率的改善效果。探讨了热处理对晶界第二相的影响机理,认为晶界相的还原氮化反应和高温挥发作用是热处理过程影响晶界相的主要机理。