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超轻负荷触针式表面测量仪

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日本NTT电子应用研究所开发了一种超轻负荷触针式表面测量仪(CPM),它与一般此类测量仪相比较,触针尖端半径减小到数十分之一,负荷减轻了3位数,试件由与STM(扫描隧道显微镜)相同的三向压电元件来驱动,试件表面与安装在平行支撑的弹簧片上的触针相接触.支撑弹簧片的挠曲量用光学测头检出,试件位移由压

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来源
《航空精密制造技术》|1993年第5期|P.11-11|共1页
作者
周菊芳;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类航空制造工艺;
关键词
表面测量; 轻负荷; 弹簧片; 扫描隧道显微镜; 压电元件; 应用研究所; 测头; 仪相; 横向分辨率; 纵向分辨率;

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