抛光力对光学玻璃表面抛光质量的影响

摘要

分析与测量了抛光模与工件盘之间的抛光力，并对如何控制与测量进行了研究。研究结果表明，随着抛光模与工件之间接触压力的增大，面型精度及表面粗糙度将变差，并且工件盘上各点切向力的变化将会引起抛光去除量不相同，因而也会导致面型精度的下降。