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基于AFM电场诱导氧化的纳米加工

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摘要

研究利用STM/AFM进行电场诱导氧化加工以及环境(特别是湿度)对纳米加工的影响.通过理论推导得出生成氧化物的线宽与探针偏压有着密切的联系,分析了偏压和场强对氧化速度的影响,比较了相对湿度分别为53%和92%时的加工结果,并在理论上论述了温度对加工的影响.

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来源
《航空精密制造技术》|2003年第5期|1-2,37|共3页
作者
郑丽芬; 胡晓东; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子元件、组件;电化学加工机床及其加工;
关键词
AFM; 电场诱导氧化; 阳极氧化; 温度; 湿度;

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