水热法制备ZrO2高折射率薄膜

沈军; 张勤远; 杨天河; 邓忠生; 周斌; 王珏; 陈玲燕

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以ZrOCl2.8H2O为原料,采用水热法和溶胶-凝胶工艺制备颗粒度为几至几十纳米的ZrO2水溶胶,再以甲氧基乙醇转换为醇溶胶,用旋转镀膜法制备了高折射率ZrO2薄膜.应用原子力显微镜及台阶仪测试了膜表面微观形貌,获得了膜的红外光谱,并用椭偏仪测得薄膜厚度与折射率.研究了薄膜厚度、折射率与热处理温度的关系,并就有机粘接剂PVP对ZrO2薄膜折射率及机械强度的影响作了初步探讨.

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来源
《原子能科学技术》 |1999年第4期|328-331|共4页
作者
沈军; 张勤远; 杨天河; 邓忠生; 周斌; 王珏; 陈玲燕;
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作者单位

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092;

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正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
水热法; ZrO2醇溶胶; 高折射率; 薄膜;

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