准分子激光—阵列法研究双向泵浦KrF激光束能量的空间分布

机译：KrF准分子激光束的结构和参数研究

机译：KRF准分子激光束的结构和参数研究

机译：宽带KrF激光泵浦拉曼发生器斯托克斯输出的空间分布和光束质量的研究

机译：使用KrF准分子激光束对聚合物进行微细加工

机译：改善放电泵浦稀有卤化物准分子激光器性能的研究

机译：用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构

机译：气体混合比对排出泵浦KRF准分子激光激光输出能量的影响

机译：电子束泵浦KrF放大器中的电子能量沉积：束功率和能量的影响。

机译：带有羟基苯乙烯单元的树脂成分的新型正化学增幅光致抗蚀剂组合物，采用干蚀刻法改进，适合KRF准分子激光束曝光

机译：准分子激光束加工装置及准分子激光束能量强度的调整方法

机译：适于作为酸产生剂的盐，适用于ARF准分子激光光刻，KRF准分子激光光刻，EUV，乳化光刻和电子束光刻的光致抗蚀剂组合物，以及光致抗蚀剂的制造方法