ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И ПАРАМЕТРОВ ЛУЧА KRF-ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА

摘要

Распределение энергии по сечению луча ультрафиолетового KrF-эксимерного лазера с конфокальным неустойчивым резонатором измерено по люминесценции ультрафиолетового излучения на стекле. Обнаружена сложная тонкая структура луча. Двумя разными методами --- по почернению термобумаги и по абляционным кратерам на поверхности стекла --- выполнены измерения вблизи фокуса; показано, что упомянутая сложная структура сохраняется также и в районе перетяжки каустической поверхности. Оценки размеров поперечного сечения в этом месте заметно зависят от примененных методов измерения значения угла расходимости исходного луча, определенные разными способами, варьируют от 0.3 до 0.6-1.3 mrad. При фокусировке с помощью специально сконструированного безаберрационного объектива удается получить фокальное пятно с линейными размерами в несколько десятков микрон.