Образование углеродной нанопленки на стекле КУ-1 при отжиге на нем масла излучением KrF-лазера

摘要

Изучен отжиг в воздухе слоя масла на выходной грани подложек из стекла КУ-1 излучением мощного KrF-лазера с длительностью импульса 80 нс. Обнаружено, что при флюенсах лазерного излучения F свыше 2 Дж/см~2 на поверхности стекла образуется полимероподобная углеводородная пленка толщиной до 40 нм. При F ≈ 6 Дж/см~2 и более происходило разрушение поверхности образцов на площадке, размер которой был примерно равен диаметру лазерного пятна (1 см).