常压介质阻挡放电非平衡等离子体渗氮研究

摘要

利用介质阻挡放电，在自行研制的设备上进行常压非平衡等离子体渗氮的研究。研究表明，该新工艺不仅在很短时间内在试样表面得到很深的渗层和白亮层，而且省去了真空放电下必须的真空设备，整个工艺过程操作简便，是一种很有发展前景的新工艺。