电子能谱仪多功能样品预处理装置

摘要

介绍了一种供表面分析用的电子能谱仪样品预处理装置。详细说明了各部件的结构和功能。列出了装置的主要技术指标。对某些特殊结构的设计和工艺特点作了专门讨论。