制备类金刚石薄膜过程中的等离子体发射光谱

摘要

测定了不同反应条件下,不同空间位置的等离子体发射光谱,并与相应条件下生成的类金刚石薄膜的红外吸收谱进行对照,分析了它们之间的关系。