TiO2纳米薄膜的溶胶-凝胶工艺制备和表征

摘要

通过sol-gel工艺在普通钠钙玻璃表面制备了均匀透明的锐钛矿型TiO2纳米薄膜.TiO2薄膜的X射线衍射分析表明,当薄膜的厚度小于0.46 μm时,薄膜中未出现锐钛矿的衍射峰.随着镀膜次数或薄膜厚度的增加,薄膜中TiO2纳米微晶的平均晶粒大小逐渐增大,TiO2薄膜的透光率略有减小,其吸收阈值发生了明显的红移.XPS实验结果表明:薄膜中除含有Ti、O元素外,还有一定量来自有机前驱物中未完全燃烧的碳和少量从玻璃表面扩散到薄膜中的Na和Ca元素.