淀积气压对脉冲激光淀积La掺杂钛酸铅薄膜介电性能的影响

摘要

利用脉冲激光淀积法在Pt/Ti／SiO2／Si衬底上制备了28mol％ La掺杂钛酸铅薄膜．采用不同的淀积氧气压，并分析了其对薄膜微观结构和介电性能的影响．结果表明，在2Pa左右的气压下淀积的薄膜具有好的结晶度和介电系数．在频率为10kHz时28mol％ La掺杂钛酸铅薄膜的介电系数达852，并且保持了较低的损耗．同时制备了其他La掺杂浓度的PbTiO3薄膜，发现它们也有类似的特点．对此作了定性解释．