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邹秀; 邹滨雁; 刘惠平;
大连交通大学理学院,大连,116028;
等离子体 ; 射频 ; 鞘层 ; 磁场 ;
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机译:通过多频率射频阻抗调谐控制工件表面等离子体离子密度和离子能量的径向分布的装置
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