光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进

摘要

应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构-音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力.通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题.