高精度微孔测量探头

摘要

对高精度探头的研究和发展进行了叙述,介绍了所研制的一款由一个二维角度传感器、一个弹性机构和一个自制的微球形钨探针组成的微孔测量探头.对探头的刚度和重复性分别进行了仿真验证和实验测试,结果表明:该探头在三维方向上的刚度均小于0.4 mN/μm,重复性均优于20 nm(k =2).最后利用该探头对一个直径为420 μm的微孔进行了实际测量,测量结果验证了该探头的实用性.