铸造多晶硅中热施主形成规律

摘要

采用四探针电阻率测试仪和傅立叶红外光谱测试仪,研究了铸造多晶硅中热施主的形成规律.实验发现,初始氧浓度高、位错密度高、碳含量低的样品中,所形成的热施主浓度较高.这表明:碳对热施主的形成有抑制作用;位错对热施主的形成有促进作用;晶界对热施主的形成没有明显地影响,而且碳和初始氧浓度的影响最大.实验还发现,在650℃ 0.5h退火处理可以消除部分原生热施主,原生热施主对于随后的热施主的形成规律没有明显影响.