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背面熔化对颗粒硅带表面质量的改善

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摘要

衬底的表面质量对外延薄膜有着显著的影响.为获得高质量的衬底,我们改进了SSP的制备方式.将制备的SSP硅带进行背面熔化后,硅带背面的表面质量得到大幅改善,晶粒明显增大.通过SEM和金相显微镜观察,对两种SSP进行了比较,分析了产生这些变化的原因,并讨论了改进建议.

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来源
《太阳能学报》 |2005年第2期|196-199|共4页
作者
邹禧武; 梁宗存; 沈辉;
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作者单位

中国科学院广州能源研究所,广州,510640;

中国科学院广州能源研究所,广州,510640;

中国科学院广州能源研究所,广州,510640;

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正文语种 chi
中图分类 TK514;
关键词
背面熔化; 颗粒硅带; 晶界;

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