The University of North Carolina at Chapel Hill;
机译:热退火对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积的金属氧化物半导体电容器界面态密度的影响
机译:电子回旋共振微波等离子体制备的二氧化硅薄膜
机译:电子回旋共振等离子体流辐照的活化能极低且界面质量高的低温氧化硅
机译:电子回旋共振和多偶极约束电感耦合等离子体中四分之一微米二氧化硅轮廓控制的比较
机译:通过微波,傅立叶变换红外光谱和原子吸收光谱法确定的气相物质的绝对浓度与沉积在电子回旋共振反应器中的二氧化硅膜的特性相关。
机译:热生长二氧化硅的超薄转移层作为生物集成柔性电子系统的生物流体屏障
机译:电子回旋共振等离子体沉积氮化硅和氧化硅薄膜的表征
机译:硅电子回旋共振等离子体氧化动力学研究