University of Illinois at Urbana-Champaign.;
机译:特刊:微机电系统(MEMS)
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机译:Pd掺杂Au引线键合对微机电系统(MEMS)封装中的热影响区组织和回线轮廓的影响
机译:集成静电微传感器,用于开发大型微机电系统(MEMS)的缺陷建模技术
机译:三维微结构和微机电系统(MEMS)的微装配。
机译:基于MEMS的惯性传感器误差的严格的温度相关随机建模和测试
机译:特殊问题:微机电系统(MEMS)
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。