机译:特刊:微机电系统(MEMS)
机译:特刊:微机电系统(MEMS)
机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:关于微机电系统传感器和执行器在近太空飞艇上的应用的一些构想
机译:微机电系统(MEMS)的随机建模。
机译:编辑为生物传感器和基于MEMS的诊断应用的特殊问题
机译:MicroSystem技术:对MEMS / MEMS的设计,测试,集成和包装进行特殊问题,2010
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。